概述

​产品特征

  • 分辨能0.1nm

  • 与倍率无关,分辨能力达到同等水平

  • 纳米水平的测量

  • 高速、高精密度、高分辨能力的表面形态测量

  • 可以进行透明/半透明/不透明等多种样品的测量 

  • 不破坏样品,无需前处理,测量容易

  • 重复性、准确性、重现性优秀

3维纳纳米形象貌测量仪

3维纳纳米形象貌测量仪利用光的干涉,

可以对1nm ~ 10mm高度的图形进行快速、准确的检测,
以纳米单位对物体表面形态进行测量。
与接触式相比,测量物完全无损伤,与共焦点方式相比,

高度分辨能力与倍率无关达到同等水平,
与AFM 方式相比,测量区域更宽、速度更快。

主要测量

  • 高度, 深度, 高度差, 线, 圆, 弧, 角度, 宽度, 距离测量

  • 面粗糙度, 线粗糙度, 波形测量

  • 划痕, 磨损, 缺陷测量

  • 面积, 体积测量

测量原理

利用光的干涉信号,它可以测量摄像机表面的整个区域从1nm到10mm而不破坏材料。

当从任意参考点同时传播的光行进通过不同光路时,干涉信号是根据两个光路的物理现象,并且被表示为光和暗形式的光。我会的。

产品构成图片

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